据观察者网9月15日报道,9月9日,工信部发布了《首台重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,在集成电路生产装备名单中出现了一款氟化氩光刻机,以及一款氟化氪光刻机。其中套刻等于以及少于8纳米的氟化氩光刻机,属于深紫外光刻机的一种。资料显示,该光刻机的光源波长是193纳米,分辨率小于或等于65nm,主要应用于制造7纳米及以上制程节点的芯片,这意味着中国可能已经研发出可以生产8纳米及以下芯片的深紫外光刻机。
在工信部发布这则公告之前,中国芯片设备85%靠进口,尤其是在8纳米芯片这个领域,我们基本上都需要依靠进口。不过,随着氟化氩光刻机的问世,或许有望结束这一现状,而这一技术的突破,对于提升中国芯片制造能力也具有非常重要的意义。深紫外光刻机技术的的出现,代表的是中国在半导体领域新的突破,这项技术不仅展现出中国自主创新的能力,同时也足以说明我们在应对西方社会的技术封锁时,丝毫没有退缩。
在美国限制对华芯片出口的背景下,近年来中国芯片产业面临着非常大的考验。尤其是近段以来,美国极力施压盟友收紧对华芯片出口,包括荷兰、日本、韩国等都是被约束的对象。尽管荷兰政府不太愿意配合美国的对华政策,但考虑到种种限制因素,荷方还是在9月6日宣布,扩大光刻机出口管制范围到浸没式深紫外光刻设备。这项限制措施包括,要求阿斯麦出口相关光刻系统时,需要先向荷兰政府申请许可证,并且连在维修一些光刻机设备时也需要申请许可证,可见美方对中国芯片产业的围堵已经延伸到各个方面。
不过,阿斯麦公司在配合美方芯片政策的同时,也提出了自己的担忧,他们认为如果不能从海外市场获得芯片供给,那么中方就会自己干,而且阿斯麦认为中方已经开始进行具体规划和布局,实现真正的自给自足。阿斯麦作出的预判是非常准确的,在进口面临极大不确定性的情况下,我们必定会着眼于自研光刻机。靠自主创新实现技术上的突破,拥有制造国产芯片的能力,才能真正打破西方的技术封锁,让国内半导体产业发展实现质的飞跃。
毫无疑问的是,未来中方在光刻机领域的突破不止于此,美西方在半导体上对中方的打压制裁,会更加激发我们的自我创新能力。当下,中方将更多精力放在技术研究上,这一趋势在未来会更加明显。虽然说技术与西方还有一定的差距,但现在我们面正在逐步突破,让芯片行业对中国技术更加有信心,这也是非常关键的一步。
与此同时,我们也提醒美西方国家,在今年前7个月,中国企业进口了价值约260亿美元的芯片制造设备,芯片进口金额高达约2120亿美元。这些数据足以说明中国对芯片有庞大的需求量,但未来这些国家可能会逐步失去来自中国的订单。现在中方在光刻机技术上有新的突破,可以预见的是,这场所谓的“芯片战”美西方国家不会赢。