俄罗斯在EUV光刻机技术上的优势

发表时间: 2024-08-26 10:40

俄罗斯:我们拥有EUV光刻机核心技术,会比中国更快造出光刻机!

说到光刻机,大家首先想到的是光刻巨头阿斯麦,以及围绕在这家公司周围的各个技术提供国。

而除了美日韩以及西方等拥有光刻机关键技术的国家,中国也在不断积累光刻机技术,努力向上攀爬。

当谈到俄罗斯的光刻机技术,人们都会不约同的疑惑:“俄罗斯有光刻机技术吗?他们不是连洗衣机里的芯片都造不出来吗?”

不过,最近俄罗斯的主流社交平台Dzen上有一篇文章,却抛出了一个让人意想不到的问题:《谁先制造出EUV光刻机:俄罗斯还是中国?》

是的,这篇文章在分析完EUV光刻机技术的发展历程,以及中国在EUV上的发展进程后,得出了一个让所有人都大跌眼镜的结论:

在EUV的研发上,俄罗斯相比于中国,有着明显的优势!

首先,文章对中国的EUV技术前景十分不看好,原因主要有以下几点:

一,EUV设备的技术极其复杂,其中使用的高科技组件数量也十分庞大,因为这是有史以来最复杂的设备,所以中国制造这个设备的“前景非常模糊”!

二、ASML在近几十年来,一直在开发着EUV技术,全世界最先进的发展成果都集中在里面了,而中国却在这个领域根本没有足够的发展,而且在现今这个时代,我们几乎不可能得到EUV的现成技术,没有人会与中国分享这些技术。

综上两点,所以这篇文章得出了中国的EUV技术前景不好的结论。

那么,俄罗斯的EUV制造前景又如何呢?

该文章介绍称,早在上世纪的70年代,苏联就有了EUV照相光刻的技术。

文章称,在ASML的网站上指出,日本投影出来的第一张EUV图像,就是基于苏联时代在“多层镜”领域的研究。

而早在新俄罗斯的时代,俄罗斯的科学家就为“EUV平版印刷机”的关键技术开发,做有巨大的贡献。

除了这些,文章还称EUV光刻的另一项关键技术——多层镜的制造,也是由“俄罗斯科学院微结构物理研究所” 为荷兰开发的。

所以,综上,该文章认为,俄罗斯拥有制造第二代光刻机所需要的一切技术。

在这种情况下,我们很可能根本不需要开发浸入式 DUV 光刻机

所以,该文章最后得出结论:

在成熟DUV光刻机上,俄罗斯将会很快赶上中国,而在EUV光刻机的研发上,俄罗斯与中国相比有明显的优势。

有意思的是,文章中提到,由于俄罗斯拥有EUV所需要的一切技术,所以可能根本就不需要开发浸入式DUV光刻机了。

而实际上,俄罗斯在最近才开发出自己的第一台光刻机,制程还只有350纳米!

也不知道是不是和印度最近的交流多了,让他们说话间不经意的向印度的方向靠拢了。

最后,还是祝福俄罗斯能够早日制造出EUV光刻机!