近期，我国国产光刻机正式宣告推出，引得众多网友欣喜若狂。那么，这款国产光刻机的能力究竟如何？其战略意义又体现在何处呢？

最新国产光刻机的能力定位

从工信厅的官方新闻可以看出，我国国产光刻机的是基于ArF技术，主要技术参数是分辨率支持65nm套刻小于8nm。这款DUV光刻机是干式的DUV光刻机，而非更先进的浸没式DUV光刻机（也被称为ArFi光刻机）。

如果参考ASML官网上的光刻机的参数，可以看到最接近这款光刻机的是ASML的1460K，分辨率65nm，套刻精度5nm，这款光刻机大概是10年前推出的。同样，在2006年，ASML的DUV光刻机1450的分辨率57nm，套刻精度为7nm，也比我国最新的光刻机性能要好。因此，说我们国家最新的光刻机在技术上差距两代（ArFi和EUV），如果说和国际先进水平有10-15年的差距，是合理的。

最新国产光刻机能否量产28nm制程的芯片

很遗憾，不能。从理论上，65nm的制程经过多重曝光应该可以生产28nm的芯片，但是套刻精度不够是非常严重的问题。单次曝光的套刻精度的控制窗口是1/4至1/5的线宽，双重曝光还需要除以2，也就是理论上貌似65nm工艺双重曝光所需的套刻精度刚刚好是8nm。

但是实际上不可能，芯片生产需要考虑误差，如果按控制窗口是1/5计算，在工艺较好的情况下，65nm的分辨率通过单次曝光最多可以生产55nm制程的芯片。如果以这个能力来计算，双重曝光的套刻精度的需求至少是5nm，我国最新的国产光刻机受限于套刻精度，显然很难实现双重曝光，通过双重曝光生产28nm也是天方夜谭。

此外，假设通过神乎其技的工艺实现，也存在严重的良品率问题，这很难实现28nm的规模化生产。

对比一下，国际上28nm量产的光刻机最低型号是1970（ArFi），分辨率≤38nm，套刻精度＜3.5nm。

最新国产光刻机面试的战略意义

很多网友问我，既然落后国外15年，又没法生产28nm芯片，最新国产光刻机有什么意义？当然有，实现从90nm到65nm的跃迁本身就是进步。过去在国产光刻机分辨率在90nm的时代，我国仅仅是非民用领域无忧，但是实现了65nm，也就意味着民用领域开始逐步实现可替代，这当然是非常重大的进步。

其次，最新国产光刻机的诞生，代表我国科学界和产业界开始全面通力合作

最近项立刚总是在挑拨科学界和产业界的矛盾，说什么芯片解决不靠科学界靠产业界，这显然是在骗傻子。中国光刻机的技术底蕴，就在项立刚的粉丝看不上的中科院旗下的长春光机所和上海光机所，这也是上海微电子的技术底蕴之一。但是过去，在科学家研发了国产90nm光刻机后，我国的企业并没有支持，导致过去我国国产90nm光刻机几乎没人用，没法持续优化，也无法实现商业促进研发，举步不前。

但是，国产光刻机的快速诞生，必然是我国科学界和产业界紧密合作的结果，众所周知的国内知名的芯片设计企业、芯片制造企业全面参与了国产光刻机的研发和实验论证，大大加快了我国国产光刻机的落地。而且可以想象随着国产光刻机的研发和使用紧密结合，在大规模商用的推动下，我国国产光刻机必然会走上快车道。

需要警惕项立刚等网红不断挑拨科学界和企业的行为，为了挑拨矛盾用心险恶。科技进步从来都是科学界和企业的结合，我国历来的航空航天、军事、通信等科技进步都是如此，华为就非常注重和各大高校、研究机构的合作研发，而且也只有科学家和企业家能在新技术上紧密合作，才能推动我国科技持续健康发展。

最后，我国自主国产光刻机也初步打破了国外的封锁，让同样担心被技术大棒殴打的其他国家看到了希望，只要成熟商用，占领海外中低端市场也不是不可能。

未来的发展方向

华为在战略上有一句经典名言：实现一代、研发一代、规划一代。我国国产光刻机也一定走在这个道路上。也就是说，既然官宣了ArF光刻机的成熟商用，更先进ArFi光刻机也一定已经在研发和测试过程中，最多2、3年28nm制程将彻底没有风险。同时EUV光刻机也一定在技术规划甚至在原型验证过程中（中科院旗下的长春光机所指导）。

这也给了ASML一个警示，不要以为封锁了技术中国就干不出成绩，相信不久能制造28nm制程芯片的光刻机，ASML一定会改变策略，对我国开放倾销。

我们是否能赶上国际先进水平

最近中科院计算所，就是曙光高性能计算机的缔造者，吴凝晖院士的谈话实际上非常有道理，他在谈到AI时说到，如果对方停止了脚步，我们努力追赶自然可以追上，实际上芯片制造差不多也是这个意思。

事实上，当下现有的光刻芯片制造技术已然趋近瓶颈，倘若不进行彻底的变革与颠覆，那么国外的芯片制造的确已由奔跑之态转为缓行之势。故而，在芯片制造现有的技术范畴，我们若加快步伐，是能够逐步追赶上来的，这就需要我国科学界和产业界通力合作，加快进程

至于颠覆传统的非光刻芯片制造技术，各个国家都站在差不多的起跑线上，我们国家各个高校、各个研究机构的科学家也在努力，时不时会见到一些新的理论面世，大家半斤八两。

所以，不要怕，我们已经小步快跑！这是一小步，也是有战略意义的一大步