ASML维修业务调整，中国能否自主承接？行业挑战还是机遇？

据环球时报报道，美国正在向荷兰施压，让ASML不再维护中国购买的光刻机，包括深紫外光曝光设备，在美国施压下，荷兰政府很可能不会续发许可，撤销这种维修支持，一些设备恐怕到明年就无法使用。

据外媒报道，中国大陆积极发展芯片业让美国担忧，《日经新闻》称，中国大陆芯片业实力持续进步，目前只差台积电3年水平。而美国出口管制的目标，是想让中国大陆在芯片竞赛中落后长达10年的时间。

问题来了，ASML将不再维修中国大陆DUV，中国自己能修好吗？

我们知道，一台EUV光刻机精密零部件超过10万多个，4万个螺栓，4000多条线路，超过2公里以上的软管线。单次发货需要动用40个货柜、20辆卡车以及3架波音飞机才能运完。

即便是DUV光刻机，也同样涉及到非常复杂和精密的技术和工艺，需要足够的专业人才和设备来进行维修。10万个零部件，光设备与线路，就非常复杂，即便一件件组装起来，难度都不小，更何况还要设备串联一体，赋予智能操作。

因此，真正大的故障，一定是生产厂商进行维修保障，光刻设备是需要购置每年的原厂升级维保费用的。

而且光刻机很多精密部件在现场也是不可以拆卸的，所以不大可能通过光刻机设备工程师造出光刻机设备的。

在我们中国市场，ASML设立了一处维修中心，通常情况下，一般的光刻机设备故障，首先会经过该处维修中心尝试性的维修来解决。确定无法通过维修解决时，则会进行零部件的更换操作，以保障这些设备尽快的恢复生产秩序。

光刻机维修在操作上并不难，难度其实关键还是在零部件上。只要能找到通用的零部件，往往自然就能自己修了。

在过去有业内人士认为，整机能堵住，零部件恐怕堵不住，只要使用的不是美国零部件，还是能找到替换品的。一个例子是，俄罗斯，古巴等出现的万国货，军用品用民用品替代等现象，主要是因为欧美对两国的全面禁运造成的。

但其实光刻机的维修就难在零部件的更换上。

从部件构成上看，光刻机主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块，这些模块必须协同工作，以确保光刻机的高效和精准。

如果是一些普通通用的零部件倒还好，怕就怕在核心的元器件坏掉了。比如有一些损耗品的元器件恰恰又是核心元器件，譬如光刻系统的镜头组件，主要是由德国蔡司提供的。

包括对应光刻机设备的专用工件台、配套用于定位对准的激光部件等，作为半导体设备整合组装大厂的ASML，非常依赖美国的零部件厂商供应对应型号。

此外，光刻机的极紫外线光源，光刻机所要求的体积小，功率高且稳定的光源，这点美国一直掌握着成熟技术，其他国家都是向其采购的。

而反射镜面，只有用高精度和高光滑度的镜片才能聚焦和校准光线，从而光线才能精确无误的照射在硅片上来画出微小图案。目前能够达到光刻机要求的镜片标准的厂商也在德国。

另外像是芯片上用的复合材料，光刻胶，高纯度化学品也多数都是日本专利。

而荷兰本身制造光刻机90%以上的零配件都需要从多个国家进口，我们要找到通用零部件自己维修谈何容易。

从目前情况来看，我们今年在大规模采购ASML光刻机，ASML的中国销售占比从过去的30%左右涨到了49%。ASML在中国3个月卖了180亿。

这背后，或也是预料到美国要从光刻机维修上卡脖子了，而新采购的光刻机能有更长的寿命，也在维修期限内，以时间换空间，旧的坏了，新的光刻机能顶上。

黎明前的黑暗来了

因此，我们依然不能乐观，之所以还需要严重依赖ASML，在于国产设备零部件还不能做到完全自主。

综上来看，我们维修光刻机的难点是在镜头组件、工作台以及反射镜面、极紫外线光源等关键元器件上找不到可以完整替代的通用零部件。

因为如果在关键元器件上有完整可替代的元器件，制造光刻机就不再存在难点了，因为自主生产制造光刻机与维修面临的难题是一样的，就是关键的元器件无法替代。

当然，如果ASML停止提供售后服务和提供零部件，那么ASML就违法了合约，就需要承担违约责任的，美国的施压就让ASML变成了夹心饼干，如果全部回购，1000多亿美元的二手货堆放仓库成了废品，世界是有几家公司能承受如此巨大的现金损失？

总的来说，维修这个困难是比较大的，这种极限施压，是逼着中国自己加速把光刻机关键部件突破，此前，中微公司创始人、董事长兼CEO尹志尧提到，“国内可提供设备占集成电路生产线的15%-30%，但中国有上百个设备公司、20多个成熟公司正在拼命努力，几乎涵盖半导体十大类设备，我们应该用5年、10年的时间，达到国际最先进水平，这是可以实现的。”

前段时间ASML说保证可以远程瘫痪光刻机，现在又说要在光刻机维修上卡脖子，目的就是延缓我们追赶的时间，而这2~3年应该是非常关键的，也是正处于黎明前的黑暗时期。办法总比困难多，一劳永逸的解决办法是自己有，现在就是在打一场时间的战役，我们的自主研发可能还要跑的更快些才行。

作者：王新喜 TMT资深评论人 本文未经许可谢绝转载