国产光刻机突破关键技术，官宣成功引发业界热议

工信部的一份文件，将国产光刻机研发再度推入公众的视线。尽管上证指数在过去一周承压，但A股的光刻机板块上涨了近5%，成为近期表现比较亮眼的一个板块。仅9月18日当天，光刻机概念板块就上涨了5.35%，领涨A股所有概念板块。个股方面，同飞股份、波长光电录得20%的涨幅，新莱应材、蓝英装备、海立股份等股价均涨逾9%。龙头股张江高科一周累计上涨19.28%。国产光刻机技术的持续突破，让不少机构都在看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇。业界普遍认为，官方披露核心设备进展也会在一定程度上提振市场信心，国产光刻机相关产业链也会受益。

国产光刻机实力如何？

按照市场监管总局等5部门于今年4月联合印发的《中国首台(套)重大技术装备检测评定管理办法(试行)》，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台(套)重大技术装备，是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

为促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工信部于9月9日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》（以下简称《目录》）通知，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）等集成电路关键生产设备。《目录》中的电子专用装备目录下提到，集成电路生产设备方面包括化氟化氪光刻机，光源248纳米，分辨率≤110nm，套刻≤25nm；氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

据业内人士分析，此次国产套刻指标≤8nm的氟化氩光刻机，除了目前最先进的CPU、GPU、AI芯片外，普通工业级芯片的生产完全可以使用国产光刻机了。据华金证券研报，全球市场EUV光刻机销量逐步增长。根据各公司官网数据，2023年，全球前三大光刻机厂商销售共计681台，同比增长21.82%，销售量创历史新高，2024Q1全球前三大厂商共计销售光刻机139台。

荷兰此前扩大管制范围

9月6日，荷兰政府宣布，扩大光刻机出口管制范围至浸没式深紫外光刻设备。这与美国去年10月更新的先进芯片制造技术出口管制政策进行了“对齐”。此前，荷兰政府对光刻机的出口限制措施还没有如此严格。现在，荷兰政府自己收紧了对光刻机的出口限制——阿斯麦如果要向中国出口TWINSCAN NXT：1970i和1980i型号浸润式DUV光刻系统，需要先向荷兰政府申请出口许可证。

中国商务部新闻发言人9月8日表示，近来，中荷双方就半导体出口管制问题开展了多层级、多频次的沟通磋商。荷方在2023年半导体出口管制措施的基础上，进一步扩大对光刻机的管制范围，中方对此表示不满。近年来，美国为维护自身全球霸权，不断泛化国家安全概念，胁迫个别国家加严半导体及设备出口管制措施，严重威胁全球半导体产业链供应链稳定，严重损害相关国家和企业正当权益，中方对此坚决反对。商务部发言人强调，荷方应从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，尊重市场原则和契约精神，避免有关措施阻碍两国半导体行业正常合作和发展，不滥用出口管制措施，切实维护中荷企业和双方共同利益，维护全球半导体产业链供应链稳定。

不过，阿斯麦内部也开始出现不同的声音。9月4日，阿斯麦首席执行官克里斯托夫·富凯在一场会议上表示，随着时间的推移，美国以国家安全为由限制该公司向中国客户出口的行动变得越来越“出于经济动机”。他预计，反对美国对华出口限制措施的呼声将会增加。

另据央视新闻报道，关于半导体设备出口问题，荷兰首相迪克·斯霍夫近日表示:“我们正进行良好的谈判。我们也正特别关注ASML的经济利益，这些利益需要与其他风险权衡，而经济利益是极其重要的。对荷兰来说，ASML是一个极其重要的创新产业，在任何情况下都不应该受到影响，因为这将损害ASML的全球地位。”

相关企业市场表现亮眼

总体来看，国产光刻机追赶海外先进水平的道路并不平坦，但不可否认已经取得了国产替代的重要突破。根据华金证券的研报，我国光刻机各细分领域技术均有储备。在部分光刻机核心系统方面，国内的新锐力量也完成部分项目论证。从光刻机核心技术领域分析，在准激光光源方面，涉及科益虹源、福晶科技、国望光学、中科院和中科科仪等。在部分光刻机核心系统方面，涉及国科精密、华卓精科为代表的新锐力量。

北青报记者注意到，光刻机龙头股张江高科本周累计上涨了19.28%。张江高科受关注，主要因为其曾投资上海微电子公司。张江高科于9月10日在投资者交流平台表示，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司2.23亿元，持有上海微电子10.779%的股权，后续未增持或减持。国内企业中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一家光刻机巨头，出货量已占国内市场份额超过80%，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域，其已具备90nm及以下的芯片制造能力。

光刻机零部件方面，同飞股份曾在2023年中报表示，其液体恒温设备在半导体制造设备领域，主要应用于光刻机、刻蚀机、研磨抛光机等关键设备的温度控制。同飞股份9月18日20%一字板涨停，9月19日一度大涨近17%，周涨幅超25%。光源系统方面，据华金证券，针对准激光光源，科益虹源主要研发248nm准分子激光器、干式193nm准分子激光器等；福晶科技研发KBBF晶体。

另据东兴证券，波长光电为国内激光光学元件的主要供应商，目前，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套。波长光电9月18日大涨20%，周涨幅约18%。波长光电曾于2023年9月15日披露投资者活动记录表称，公司在半导体领域主要涉及两个领域：一个是生产领域，即曝光机、光刻，公司可提供大口径光学镜头用于检测，做折反、投射，还可以提供平行光源系统；另一个是检测领域，公司可提供检测设备上的光学元件、组件，也可为客户定制开发、装调子系统。

民生证券在研报中指出，国产光刻机技术不断取得突破，利好半导体设备自主可控的长期发展，继续看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇。

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文/北京青年报记者 朱开云

编辑/樊宏伟